[上海政府网]上海交大科研团队在高纯硅烷大规模生产技术获得突破性进展
近期，从河南平煤神马集团和许昌市传来喜讯，由上海交通大学化学化工学院化工系长江学者肖文德教授领衔研发的具有自主知识产权的硅烷大规模生产新技术600吨/年中试生产项目试车成功，已连续稳定生产出产品纯度大于99.9999%的高品质硅烷产品。该项目的成功标志着高纯度硅烷的大规模生产技术获得了突破，得到了电子和光伏行业的广泛关注。
我国的电子和大规模集成电路行业的芯片进口总额去年高达2300亿美元，其中一个重要原因是缺乏高纯度的晶体硅材料，而生产高纯晶体硅必须以高纯硅烷为基础。以往国内主要采用硅化镁为原料，规模小，产品纯度低，成本高。2009年，肖文德教授接触到该课题，凭借其长期的化工基础和经验，以化学反应工程的热门和前沿技术——多功能反应器为基础，创新提出了基于三氯氢硅的硅烷生产技术，使原本极其低效的反应（转化率0.1%）可以实现完全转化（接近100%）。经过不到一年的研究，肖文德教授带领助手和研究生，通过反复计算和不断重复实验，在实验室获得了99.99%的硅烷产品。
2010年12月，中国平煤神马集团梁铁山董事长带队到上海交大考察该项目，与校长张杰共同主持签订了校企战略合作协议，双方合作开发硅烷法多晶硅技术。经过三年半时间的研发和建设，今年9月建成中试装置，一次性试车成功。今年11月4日，河南省委书记郭庚茂、副省长张维宁，许昌市书记、市长，和襄城县书记、县长到项目现场考察调研，对于平煤神马集团与上海交通大学以产学研合作方式发展硅烷法多晶硅技术产业化的模式创新给予了高度肯定。11月底，许昌市襄城县委县政府给予肖文德教授通令嘉奖，并聘为县政府的经济发展顾问。
该项目的成功是化工与材料和能源相结合的一个很典型的例子。化工学科是一个基础性和支撑性很强的学科，其核心就是过程放大、技术放大和成果放大，以其强大的“三传一反”理论基础和研究方法，其与材料、能源、医药、生物、电子和环境等相结合，可使实验室成果迅速得到转化，放大到工业化生产。近年来，我校对化工学科的发展和建设给予了高度重视，也体现了其重要性。
来源：上海政府网 2014.12.18
原文： 上海交大科研团队在高纯硅烷大规模生产技术获得突破性进展