招标书15185--电子束蒸发真空镀膜机系统部件

各公司、厂家：

上海理工大学因学科发展的需要，拟采购电子束蒸发真空镀膜机系统部件，现在网上公开招标信息，欢迎各单位参与招标。

一、招标项目名称

电子束蒸发真空镀膜机系统部件---电子枪及配套电源。

二、技术性能、参数要求

      1 、电子枪 ：

直接水冷却，蒸发坩埚必须保证一次真空过程先后满足三种不同材料的蒸发，其中金属铝一次性蒸发膜层厚度不低于7微米。270°束偏角，采用永磁场，磁路冷却效果要好，磁场长期稳定。配制新型扫描发生器，可分别生成方形、条形、环行光斑，有效防止膜料砸坑。电子枪功率为10KW，高压8KV/10KV。

电子束电流：0-1000mA（高压为10KV时）

电子束偏转：270°

扫描范围Ｘ：±15mm

扫描范围Ｙ：±15mm

      2 、电子枪电源：

（1）配备高压自动灭弧电源一套，电源纹波小,有效抑制电子枪打火。

（2）采用TGD-SL灯丝控制电源.

（3）采用PS-Z型可编程扫描电源，可任意选择三角波、正弦波、方波扫描方式，扫描频率1-500 Hz可调。

（4）操作：备一套新型有线遥控盒手持操作。

      三、相关要求

      1、安装调试：卖方负责将货物送达到买方指定地点，在买方现场安装、调试系统、并交付使用。

      2、设备验收：设备验收分为供方工厂预验收和需方现场终验收。供方应提供预验收所需要检测的条件，预验收条款按双方签订的技术协议进行，合格后双方授权代表在备忘录上签字。之后供方发货，但预验收不作为最终验收合格的依据。设备运抵用户工厂安装调试后，用户对设备终验收，验收内容包括设备配置、性能检查、功能参数检测，具体按双方签订的技术协议进行。

      3、提供技术服务及对买方操作人员进行免费培训；   

      4、可靠及其保护装置：

      四、其他

技术负责人：黄老师      电话：  13301909205

投标截止时间：2015年12月7日上午10：00（标书一式二份密封盖章并注明标号）

标书请寄：上海市军工路上海理工大学公共服务中心102室资产设备与实验室管理处（邮编200093，建议顺丰快递或专人送）

联系电话（传真）：021-55272339

联系人： 费老师

                                                                                                            上海理工大学设备招标领导小组

                                                                                                                  2015年11月30日