[新闻晨报]上海交大先进电子材料与器件平台启动
投入近亿元人民币的大型精密仪器设备共享服务平台——上海交大先进电子材料与器件校级公共平台昨天启动，整个平台将面向社会开放，为各类科研单位及企业单位提供科研支撑及创新服务。
微米和纳米技术正悄然改变我们的生活，像液晶电视、LED电视，电脑、手机、网络，没有微米和纳米技术，就不可能进入寻常百姓家。而利用先进电子材料与器件平台，科学家们能够创造出意想不到的科技成果，对人们的生活产生不可思议的影响。
比如微光夜视仪，戴上此种眼镜，就能实现夜行如白昼。其就是利用纳米线作为光探测器，其对光的放大倍数可高达1千万倍，即8个数量级。可以将黑夜变得如同白天一样，这一成果在民用和军用领域具有重要的应用价值。交大程秀兰教授介绍，制造这样的仪器就离不开各类精密仪器设备。她还举例，从砖块大小却只能通话的“大哥大”，到现在小巧轻便却能有十八般武艺的智能手机，这样的“瘦身”过程背后也是微米纳米技术的革新。在上海交大“先进电子材料与器件平台实验室”内，采用先进的光刻、薄膜工艺等进行加工组装，可以将多个具有不同工艺和功能的芯片与无源元件封装，立体集成，形成三维射频电子系统。与高耸入云的摩天大楼相比，在该实验室进行的工艺，则是用肉眼所无法看清的，必须借助高倍显微镜的微纳米尺度的精细组装加工，它不仅能将电子系统的体积变得更小，而且能够实现强大的、多种类的电子系统功能。利用这项技术制造的一个雷达模块，体积能缩小到只有原来的4%。
据悉，目前平台拥有具有国际一流的先进微纳加工与测试设备，具备10纳米至微米级微纳器件与图形的加工与测试能力。设备主要包括电子束曝光系统、双束聚焦离子束系统、双面对准紫外光刻机、热压、紫外纳米压印系统、涂胶显影系统、原子力显微镜、霍尔效应仪、四探针测试仪紫外膜厚仪设备等。超过100万元的设备达到了27台。
来源：《新闻晨报》 2014.11.07
原文： 上海交大先进电子材料与器件平台启动 近亿元大型精密仪器设备对外开放