招标书15183--真空系统
各公司、厂家：
上海理工大学因学科发展的需要，拟采购一套真空系统，现在网上公开招标信息，欢迎各单位参与招标。
一、 招标项目名称
真空系统
二、 技术性能、参数要求
（1）真空室
1.箱体形式：立式前开门，优质304不锈钢材料，外壁通冷却水。内衬不锈钢防污板，美观且装卸简单方便，侧面防污板厚度为1mm,底部防污板厚度为2mm.配两套防污板.
2.内腔尺寸：800mm×900mm。
3.观察窗:两个门左右各设观察窗一个,上方一个，能方便看到工件及蒸发源工作状态,配耐温石英玻璃、铅玻璃及防护镜.观察窗有冷却水管.
4.室体门上有蒙板,外形美观大方.
5.真空室体水冷焊接可靠,不漏水.
6.设备尾箱以及管道均采用不锈钢材料。
（2）真空系统：
1. 真空度指标：
1.1.极限真空： 8×10 -5 Pa。
1.2.恢复真空时间：大气至4× 10 -3 Pa≤15min。
1.3漏率：系统抽至极限真空后，关闭高阀1小时后室体真空度＜6×10 -1 Pa。
2. 测试方法：按照GB11164真空镀膜机通用技术条件测试。
2.1. 检测位置在抽气室顶部。
2.2. 真空室清洁，蒸发室无样品、无镀膜材料。
2.3. 蒸发室烘烤后、经干燥氮气充气。
3．二级真空抽气采用分子泵。
4．真空系统控制：
采用进口PLC控制所有泵阀动作，泵阀到位信号由接近开关采集，具有故障判断和报警功能，如气压、水流等提示及报警，同时在触摸屏上可通过选择“手动”和“自动”两种工作方式。
（3）工件烘烤
1、烘烤形式：采用上烘烤形式，不锈钢管状加热器。
2、烘烤功率：最高温度350℃。
3、烘烤显示：PID自动控温及显示。
4、温控仪采用数字温控仪，自动控温，控温精度≤±1°C。
5、温度均匀性：烘烤温度至300度时，保温时间不低于30分钟，延径向3个点（三点等距）测试，温度不均匀性:上中下三点温差≤±5%。
（4）离子源：主要用于样品处理。
三、相关要求
1、安装调试：卖方负责将货物送达到买方指定地点，在买方现场安装、调试系统、并交付使用；
2、设备验收：
设备验收分为供方工厂预验收和需方现场终验收。供方应提供预验收所需要检测的条件，预验收条款按双方签订的技术协议进行，合格后双方授权代表在备忘录上签字。之后供方发货，但预验收不作为最终验收合格的依据。设备运抵用户工厂安装调试后，用户对设备终验收，验收内容包括设备配置、性能检查、功能参数检测，具体按双方签订的技术协议进行。
3、提供技术服务及对买方操作人员进行免费培训；
4、可靠及其保护装置：
4.1门上配备高压保护装置及开门限位装置。
4.2对泵等用冷却水部件均有断水报警保护，在冷却水的水量在规定值以下时也能报警保护。
4.3.气压达不到一定压力以上的话，设备不会起动，并通过警报器和信号灯来告知异常。
4.4.操作系统发生异常时，警报器会报警。预留自动关机时自动关闭用户冷却水、气源进电源开关的控制接口。
四、其他
技术负责人：洪老师 电话：13918146356
投标截止时间：2015年12月7日10:00（标书一式二份密封盖章并注明标号）
标书请寄：上海市军工路上海理工大学公共服务中心102室资产设备与实验室管理处（邮编200093，建议顺丰快递或专人送）
联系电话（传真）：021-55272339
联系人： 费老师
上海理工大学设备招标领导小组
2015年11月30日