引全球优质项目在沪产业化 微工院在“超越摩尔”领域弯道超车
摩尔定律，是英特尔创始人戈登·摩尔提出的集成电路技术演进趋势。目前，英特尔、三星、台积电等少数企业紧随摩尔定律，进入了14纳米工艺节点，其他企业要在短期内赶上很困难。然而，集成电路业界还有一个名词：超越摩尔（MorethanMoore），意指非数字、多元化半导体技术与产品（如市场巨大的传感器）可以在成熟的工艺生产线上研发，无需遵循摩尔定律，在工艺尺寸上越做越小。
坐落于嘉定的上海微技术工业研究院，要在超越摩尔领域有所作为，使上海在全球半导体产业竞争中“弯道超车”。在市政府支持下，微技术工研院的8吋超越摩尔研发中试线正在加紧建设，预计明年下半年建成。这一国际上屈指可数的8吋研发中试线，是微技术工研院吸引全球优质研发项目在上海实现产业化的基地，也是与比利时微电子研究中心（IMEC）合作的重要基础。引人注目的是，微技术工研院在科研的体制机制上也作了不少有益的探索。
5页PPT引发的世界级研发机构
说起微技术工研院的缘起，中科院上海微系统与信息技术研究所所长、微技术工研院发起人王曦院士记忆犹新。2012年9月，他用一个只有5页的PPT文件，向市领导以及中科院上海分院、市科委负责人报告了超越摩尔计划。
那时，超越摩尔技术研发在国际上方兴未艾，一些专家意识到，与竞争残酷的摩尔定律技术路线相比，超越摩尔这片“蓝海”温和得多：摩尔定律技术路线的投资量级是10亿美元，产品只有计算和存储芯片，我国水平最高的芯片制造企业与英特尔相比，还有较大差距；而超越摩尔技术路线的投资量级是百万美元，产品种类非常丰富，其主要产品——传感器的品种多达上千。
随着智能手机的兴起，传感器市场急剧扩张，加速度传感器、陀螺仪、磁传感器等已成为手机标配。“摩尔定律和超越摩尔的市场份额，差不多是1∶1。上海拥有国内一流的集成电路研发和产业基础，应实施超越摩尔计划，争取在这一领域与国际领先水平并行。”王曦说。
这个建议得到了采纳。2013年5月，聚焦超越摩尔技术的上海微技术工研院成立。微技术工研院被列为重点培育对象，专家还为它找到了一家对标机构——比利时IMEC。虽位于欧洲小国，但IMEC在竞争激烈的微电子领域大获成功，成为欧洲最大的独立微电子研究中心。市科委提出，上海作为我国集成电路创新能力最强、产业发展最好的地区之一，有必要、也有能力举全市之力，以培育打造超越摩尔世界级科学中心为抓手，加快在微技术领域布局攻关。
财务人事自主，政府3年一考核
打造世界级研发机构，体制机制创新是关键。微技术工研院是企业，与事业单位相比，和市场结合得更为紧密，在经费使用、员工聘任方面拥有充分的自主权。今年，原IMEC中国总经理高腾被微技术工研院聘为首席战略官，在把IMEC管理经验引入的同时，也促进了微技术工研院与IMEC在超越摩尔、光电子等领域的深度合作。王曦说，《关于加快建设具有全球影响力的科技创新中心的意见》（以下简称《意见》）出台后，海外高层次人才引进更为便利，微技术工研院将引进更多人才。
在高腾看来，国内传统科研院所在财政科研经费的使用上存在一大问题，那就是管得太死，购买设备必须报批立项的规定降低了效率。而在集成电路产业界，时间真的就是金钱，因为技术每隔两三年会更新一代，如果决策购买一台设备都需要几个月，国内研发机构与国际领先水平的差距将越拉越大。
针对这一问题，微技术工研院正在探索“目标管理”制度，将事前报批制改为事后考核制。在具体的经费使用上，公司负责人拥有自主权；而在财政经费总量上，采用政府投入与单位绩效挂钩制度：公司运营收入高，政府投入也高，反之政府投入就少。政府对微技术工研院的业绩考核每3年进行一次，3年一“小考”，6年一“大考”。
在科研院所分类改革问题上，《意见》指出：“对前沿和共性技术类科研院所，建立政府稳定资助、竞争性项目经费、对外技术服务收益等多元投入发展模式。”作为超越摩尔共性技术研发机构，微技术工研院探索的正是这一模式。依靠政府的前期投入，这家成立至今只有2年的研究院已初具规模，孵化出8家创新型企业，数款拥有自主知识产权的传感器进入了市场。
上海矽睿科技有限公司，就是微技术工研院孵化出的一家企业。公司首席执行官谢志峰博士向记者展示了他们研制的磁传感器。这是全球首款单芯片三轴AMR磁传感器，与苹果iPhone配备的AKM磁传感器相比，它的误差更小，使手机室内导航成为可能。而与市场上采用3颗芯片的AMR磁传感器相比，它只用1颗芯片，集成度更好，成本更低。
8吋研发中试线明年建成
在超越摩尔领域，要占得先机就要有自己的8吋研发中试线。
这条令人翘首以盼的8吋研发中试线厂房，已完成结构封顶，预计明年下半年建成。有了它，不但矽睿等孵化企业能充分利用，国内外知名企业也可以通过合作，在这条线上进行工艺研发。王曦说，微技术工研院已进入快速发展期，以它为研发中心的物联网产业生态系统，也已基本绘就。
据介绍，占地800—1000亩、毗邻微技术工研院的“物联网·芯天地”产业园正在建设中。未来，微技术工研院孵化的企业将入驻产业园。与其一同入驻的，还将有物联网产业链上下游企业、跨国企业研发机构和风投基金。这些企业能开展协同创新，开发传感器等微技术产品。
王曦认为，未来是物联网遍布的智能时代，万物互联是那个时代的特征，配备在各种物品上的传感器数量将达到千亿规模。通过谋划布局世界级研发机构，上海将力争在传感器和物联网产业的全球竞争中占得先机。